PROトロン Vol.12【2025年6月30日発刊】
￥6,600円（税込）
A4版84ページ
発行日：2025年6月30日
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エレクトロニクスガス専門誌
エレクトロニクスガス・機器の市場分析と最先端プロセス・技術へのガス利用の可能性を探るエレクトロニクス分野のガス・関連機器専門誌
エレクトロニクス産業に関わる人に最適な一冊。
【巻頭特集】最先端半導体製造プロセスにも欠かせぬガスのチカラ
半導体プロセスを『流動科学』から捉えなおす
～先端半導体における原子層プロセスの検討～
日本の半導体産業は、失われた30年を取り返すべく、産官学一体となった様々な取り組みを進めている。東北大学流体科学研究所（IFS:Institute of Fluid Science）の遠藤和彦教授が取り組む、「半導体ナノデバイスの研究開発」もその一つである。遠藤教授は早稲田大学大学院卒業からNEC（1993年4月〜2004年3月）、産総研（2004年〜2022年11月）、東北大学流体科学研究所（22年11月〜）と一貫して、最先端シリコン半導体研究に携わってきている。現在は、プラズマCVDやALD、ALエッチングを使った、「先端半導体における原子層プロセスの研究」に取り組んでいる。また、年１回、京都とハワイで開催される「Symposium on VLSI Technology Circuit」（通称:VLSIシンポジウム）の国際プログラム委員会委員長を務めている。なお、今年は、京都で6月8日〜6月12日で、リーガロイヤル京都で開催され、SKハイニックスの発表などに関心が集まった。
【海外キャッチアップ】韓国から世界を繋ぐ
TK-FUJIKIN、トータルガスソリューションプロバイダーとして世界の主要半導体製造装置に展開
TK-FUJIKIN（以下、TKF）は、精密流体制御の総合メーカーTKSCT（2008年設立）と販売機能を持つフジキンコリア（2007年設立）が2014年1月合併し、設立された。設立時は従業員約250名、売上高100億円規模でスタートしたが成長を続け、現在従業員約1000名、売上高約740億円とフジキングループの中でも大きな存在感を示す企業になった。
ガス＆関連機器最前線
大学、民間研究機関で進むヘリウムリサイクル
低温寒冷剤を用いた研究を行う液体ヘリウムユーザーの間でリサイクルの動きが活発化している。東レグループの中で分析受託事業を担う東レリサーチセンターはNMRからのボイルオフガスを回収しリサイクルするため2024年11月28日、滋賀事業所に20ℓ以上／日のヘリウム再凝縮システムを導入した。岡山大学は24年度補正予算でヘリウム液化機の更新を行う予定だ。地域の大学等研究機関からのヘリウムガスも受け入れる意向で能力は従来比2倍の120ℓ／時（ガス純度99.999％）。設置は26年度末を予定している。
