ガスレビュー
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No.977 2022年02月01日

市場動向
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メガ窒素オンサイト時代到来‼液化ガス供給は変わるのか

キオクシア、マイクロン、ソニー3社の窒素オンサイト発生能力10万㎥/hを超える日も近い

 半導体前工程向けに、メガ窒素オンサイト時代が到来しようとしている。マイクロンメモリジャパン東広島2万6800N㎥/h、キオクシア四日市2万6700N㎥/h、ソニーセミコンダクタマニュファクチャリング長崎・新長崎1万9950N㎥/h(いずれも累計)というように、半導体生産ラインの新増設が繰り返される度に、窒素オンサイト発生量も比例的に増えている。 
 かつては、半導体工程向け窒素オンサイト供給量は5000N㎥/h前後が一般的だった。むしろ大型液晶TFT製造ラインで、堺ディスプレイプロダクト7万5000N㎥/h、シャープディスプレイテクノロジー亀山4万3000N㎥/h、同三重8300N㎥/hと大型のオンサイトプラントが設置されてきた。しかし、液晶向け窒素オンサイトの生産能力は保有されているものの、液晶生産ラインは小型を残すだけで大型は日市場動向本から姿を消した。窒素オンサイトプラントが液晶工場から撤去されるなど縮小傾向にある。

No.977号(2022年02月01日号)

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