ガスレビュー
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No.962 2021年06月15日

市場動向
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半導体3D化で変わる国内材料ガス市場

窒化膜向けNH₃、ドーピング向けB₂H₆大幅増加

 国内半導体材料ガス市場は、3D‐NAND型フラッシュメモリ、立体構造トランジスタ(FINFET)などの需要が好調だ。
 JIMGAの2020年最新統計19種の材料ガスの国内販売実績のうち、横這いと減少を除くと15種で前年同期比を上回り、特に、高純度アンモニア(NH₃)は4402・1t、53%増となり、2015年3697tを超え過去最高水準となった。また、ジボラン(B₂H₆)も750㎏、21%増、3年連続でプラス成長、臭化水素は174・2t、26%増でいずれも過去最高実績となった。この他、TEOSは2014年以降、12年連続で伸長、20年925・9t、14 %増加、1千t超えも近い。

No.962号(2021年06月15日号)

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