ガスレビュー
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No.926 2019年12月15日

エレクトロニクス最前線
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〝5C〟ガスが〝5G〟時代を切り拓く

最先端半導体プロセスに、メタン、プロパン、プロピレン、アセチレン、一酸化炭素の5Cが必要

 2020年は5G元年といわれる。通信速度は1Gbpsから50Gbps(ビット毎秒)へ高速化し、超大容量、超大量接続、超低遅延が求められる。5GはIoTやAI、データシステムにとっても基盤技術といえる。
 この実現には最先端半導体が必要不可欠である。3DNAND型フラッシュメモリ、シリコンカーバイド(SiC)、MRAMなどがあげられる。そして各製造プロセスには、メタン(CH4)、プロパン(C3H8)、プロピレン(C3H6)、アセチレン(C2H2)、一酸化炭素(CO)の5種の炭素系特殊材料ガスがそれぞれ必須なのである。言い換えれば、〝5C〟ガスが〝5G時代〟を切り拓くのである。

No.926号(2019年12月15日号)

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