ガスレビュー
GASREVIEW Articles

No.920 2019年09月15日

エレクトロニクスガス市場
11

岩谷産業/ヴェルサムマテリアルズ、ドーパントガス供給システム

『ION-X』、日本での拡販に注力

 ヴェルサムマテリアルズ(ギレルモ・ノヴォCEO)は、半導体及びディスプレイ向けドーパントガス供給システム『ION‐X』のグローバル販売を進めており、この程日本での拡販にあたって、岩谷産業とパートナーを組む。岩谷産業は今後、新たに同システムによるアルシン、ホスフィン、三フッ化ホウ素の国内販売をスタートする。

No.920号(2019年09月15日号)

当社発行の書籍のご案内
ページの先頭へ